弯道超车？国产22纳米光刻机治不了咱们“芯”病

2018-12-03 来源： 科技日报

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11月29日 ， 中科院研制的“超分辨光刻装备”通过验收 。消息传着传着 ，就成了谣言——《国产光刻机伟大 突破 ， 国产芯片白菜化在即》 《突破荷兰技术封锁 ， 弯道超车》 《厉害了我的国 ，新式光刻机将打破“芯片荒”》

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笔者正好去中科院光电所旁听此次验收会 ， 写了报道 ，还算熟悉 ，无法苟同一些漫无边际的瞎扯。

中科院研制的这种光刻机不能 (像一些网媒说的) 用来光刻CPU。它的意义是用便宜光源实现较高的分辨

率 ，用于一些特殊制造场景 ，很经济。